반도체 / 디스플레이 생산에 사용하는
Photomask의 형상을 검사하고 발생한 불량을 복원하는
장비를 제조하는 기술 입니다.
디스플레이 Laser Repair분야에서 확보한 우월한 기술적인 기반을 바탕으로
PhotoMask Repair, Photo Mask AOI, Micro LED Repair,
CVD Repair, Inkjet Repair 등 최상의 Solution을 제공합니다.
Display Photomask
디스플레이 제조에 사용하는 Photomask의 형상을 검사하고 발생한 불량을 복원하는
장비를 제조하는 기술입니다.
Display Photomask Repair
8G/10G PhotoMask의 형상, 투과율 불량에 대한 Repair
Zap : (T>92%) < 0.5um 정밀 형상 가공
Binary (T: 0%) 박막 품질 및 형상 복원
Half Tone (T: 30~70%) 박막 품질 복원
Net 기술인증 (인증번호 : 0589)
Display Photomask Inspection
UV Light Line Scan Inspection
Transmission & Reflection mode
< 1um Resolution , 2um L&S
Particle Filtering, Pattern Matching , Sub - Pixel
Semiconductor Photomask
반도체 제조에 사용하는 Photomask의 형상을 검사하고 발생한 불량을
복원하는 장비를 제조하는 기술입니다.
Semiconductor Photomask Repair
6~9inch Photo Mask의 형상 및 투과율 복원 Repair
Zap : (T>95%) < 0.4um 정밀 형상 가공
PBinary (T: 0%) 박막 품질 및 형상 복원
Semiconductor Photomask Inspection
UV Laser Scanning lnspection
Transmission & Reflection mode
200nm ResoIution Hight Speed Scan lnspection
Die to Die, DB to Die
FMM
(Fine Metal Mask)
OLED 증착 공정에 사용하는 FMM의 형상을 검사하고 불량을
복원하는 장비를 제조하는 기술입니다.
FMM Repair
Fine Metal Mask 형상 및 이물 불량 Repair
Laser Ablation / Gel Stick 적용
FMM Inspection
Fine Metal Mask AOI
3um Resolution
Mask Shape, Burr, ParticIe
Option : CD Inspection, 3D Inspection