半導体/ディスプレイ生産に使用する
PhotoMaskの形状を検査し、発生した不良を復元する
装置を製造する技術です。
ディスプレイLaser Repair分野で確保した優れた技術的基盤を基に
PhotoMask Repair, Photo Mask AOI, Micro LED Repair、
CVD Repair, Inkjet Repairなど最高のSolutionを提供します。
Display Photomask
ディスプレイ製造に使用するPhotomaskの形状を検査し、発生した不良を復元する装置を製造する技術です。装置を製造する技術です。
Display Photomask Repair
8G/10G PhotoMaskの形状、透過率不良に対するRepair
Zap : (T>92%) < 0.5um 精密形状加工
Binary (T: 0%) 薄膜品質と形状復元
Half Tone (T: 30~70%) 薄膜品質と形状復元
Net 技術認証 (認証番号 : 0589)
Display Photomask Inspection
UV Light Line Scan Inspection
Transmission & Reflection mode
< 1um Resolution, 2um L&S
Particle Filtering, Pattern Matching, Sub-Pixel
Semiconductor Photomask
半導体製造に使用するPhotomaskの形状を検査し、発生した不良を 復元する装置を製造する技術です。
Semiconductor Photomask Repair
6~9inch Photo Maskの形状及び透過率の復元 Repair
Zap : (T>95%) < 0.4um 精密形状加工
PBinary (T: 0%) 薄膜品質と形状復元
Semiconductor Photomask Inspection
UV Laser Scanning Inspection
Transmission & Reflection mode
200nm Resolution Hight Speed Scan Inspection
Die to Die, DB to Die
FMM
(Fine Metal Mask)
OLED蒸着工程で使用するFMMの形状を検査し、不良を 復元する装置を製造する技術です。
FMM Repair
Fine Metal Mask形状及び異物不良 Repair
Laser Ablation / Gel Stick 적용
FMM Inspection
Fine Metal Mask AOI
3um Resolution
Mask Shape, Burr, Particle
Option : CD Inspection, 3D Inspection